1. Achtergrond van het project

Wet stripping apparatuur is een cruciaal hulpmiddel dat wordt gebruikt in halfgeleider- en precisieproductieprocessen.De primaire functie is het verwijderen van dunne films of gecoate lagen van substraten door middel van gecontroleerde chemische oplossingen en temperatuurbeheer.Deze systemen worden op grote schaal toegepast in micro-elektronica, optische componenten, flexibele displays en andere industrieën met hoge precisie, waar procesconsistentie en stabiliteit essentieel zijn.

Een typisch natte stripping systeem omvat een chemische circulatiemodule, een nauwkeurig temperatuurregelsysteem, een oplossingleveringssysteem en een programmeerbaar automatiseringsplatform.Omdat de kwaliteit van het strippen zeer gevoelig is voor procesparameters, moet de apparatuur een strikte controle houden op de vloeistofgehalten, temperatuur, doorstroming en chemische stabiliteit om uniforme strippingresultaten te garanderen en tegelijkertijd de beschadiging van het substraat te verminderen.

Dit project richt zich op het leveren van een stabiele, nauwkeurige en efficiënte automatiseringsoplossing voor een productielijn voor halfgeleider natte stripping, waardoor de doorvoer en de productkwaliteit worden verbeterd.

2. Overzicht van de oplossing

• Hoofdcontroller:Keyence PLC

• Toepasselijk proces:Front-end lithografie ◄ wet-proces voor patroonvorming

• Inrichting van de I/O:Ongeveer 100 digitale I/O-punten

• Jaarlijkse inzet:80 eenheden

3. Technische uitvoering

De wet stripping-apparatuur gebruikt een Keyence PLC in combinatie met I/O-modules van de RS-serie, waardoor een compleet en betrouwbaar automatiseringsbesturingssysteem wordt gevormd dat is ontworpen voor een precieze procesuitvoering.

1. Multi-sensor Input Acquisition

De I/O-module verzamelt essentiële processignalen van verschillende sensoren, waaronder:

• Sensoren voor het niveau van vloeistoffen

• Temperatuursensoren

• Stroomsensoren

• Sensoren voor de toestand van de chemische circulatie

Deze signalen zorgen voor een nauwkeurige controle van de chemische toevoer, de temperatuurconsistentie en de processtabiliteit gedurende de gehele stripperiode.

2Precieze actuatorcontrole.

Door middel van hoge snelheid logische verwerking, de PLC controleert de I / O-modules en voert gecoördineerde acties zoals:

• Chemische verwarmingsaanpassingen

• Precieze oplossing dispenseer

• Reiniging en omschakeling van de circulatie

• Valvebeheersing

• Veiligheidsbescherming en vergrendeling

Dit zorgt ervoor dat de hele stripperiode soepel, efficiënt en veilig verloopt.

3Verbeterde procesconsistentie

Automatisering minimaliseert menselijke fouten en verbetert de traceerbaarheid van gegevens.

4. Oplossing Voordelen

Compact en licht ontwerp

De modulaire structuur maakt naadloze integratie in grootschalige natte verwerkingslijnen mogelijk, waardoor de installatieruimte wordt verminderd en de flexibiliteit wordt verbeterd.

Gemakkelijk te installeren en onderhouden

Plug-and-play I/O-architectuur vermindert de bedradingscomplexiteit, terwijl de PLC snelle probleemoplossing en -diagnostiek ondersteunt, waardoor de stilstand van het systeem wordt geminimaliseerd.

5. Resultaten en toegevoegde waarde

Door de Keyence PLC + RS I/O-automatiseringsarchitectuur te implementeren, heeft het wet stripping systeem:

• Een hogere consistentie van het strippenmet een vermogen van meer dan 50 W

• Verbeterde automatisering en verminderde interventie van de operator

• Verhoogde productie-efficiëntie en opbrengst

• Sterke schaalbaarheid voor toekomstige procesupgrades

Deze oplossing is met succes ingezet in front-end lithografie-voorverwerkingslijnen en heeft zeer positieve feedback van klanten ontvangen.